余杭诞生“纳米神笔”！首台宝博体育- 宝博体育官网- APP下载 BaoBoSports国产电子束光刻机“羲之”06纳米精度比肩国际

2025-08-25 19:55:25

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　　据悉，该光刻机取名“羲之”，是因其精密“书写”能力与书法家王羲之的毛笔神韵相契合。“只不过我们的‘毛笔’是电子束，在芯片上刻写电路。” 研发团队相关负责人介绍，这台设备专攻量子芯片、新型半导体研发的核心环节，它通过高能电子束在硅基上“手写”电路，精度达到0.6纳米，线纳米，可灵活修改设计图案，无需传统光刻所需的掩膜版，如同用纳米级毛笔在芯片上精准作画。“芯片研发初期会设计很多版型、图案，常常需要一条线一条线进行修改，电子束光刻机精度高、‘书写’便捷，极大提升了芯片研发初期反复调试的效率。”研发团队相关负责人说，“羲之”的落地具有破局意义。此前，此类设备受国际出口管制，国内顶尖科研机构和企业长期无法采购，“羲之”的落地彻底打破这一困局，目前已与多家科研机构展开接洽。